獲得首筆訂單！昆山企業打破國際壟斷
日前
由江蘇艾森半導體材料股份有限公司
自主開發的正性PSPI產品
已獲得晶圓頭部企業的首筆訂單
這是正性PSPI在主流晶圓廠的
首個國產化材料訂單
成功打破國外企業壟斷
具有國產化里程碑意義
是兼有耐熱性能與感光性能的一類高分子材料，同時具有電絕緣性，可保護半導體電路免受物理和化學條件的影響。與傳統非光敏PI相比，PSPI本身有著很好的感光性能，在使用時無需涂覆僅起工作介質作用的光刻膠，可以大大縮短工序，提高生產效率。
目前，該技術被廣泛應用于晶圓的鈍化防護層、功率器件及IGBT的絕緣高溫防護層、α射線屏蔽材料等，對器件的應用可靠性起關鍵作用。
近年來，艾森股份圍繞電子電鍍、光刻兩個半導體制造及封裝過程中的關鍵工藝環節，形成了電鍍液及配套試劑、光刻膠及配套試劑兩大產品板塊布局。“在光刻膠及配套試劑方面，我們聚焦于特色工藝光刻膠，實施差異化、高端化的發展戰略，累計申請發明專利90項，已授權39項。”企業相關負責人介紹，目前企業正積極布局負性PSPI、低溫交聯型PSPI、超高感度PSPI以及類PI型材料，預計數年內可完成材料認證工作，進入量產階段。
來源：昆山發布
