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樓主 發表于: 2024-12-20
, 來自:江蘇省0==
近日
蘇州市工信局公示了
2024年蘇錫常首臺（套）重大裝備名單
昆山高新區2家企業裝備入選
分別是
昆山龍雨智能科技有限公司
M6高速高精度全自動VCM功能測試設備
蘇州尊恒半導體科技有限公司
晶圓級垂直式全自動電鍍設備ZH100-A（雙面）
截至目前
全區已有6件裝備
通過蘇錫常首臺（套）重大裝備認定
占昆山總量的43%
位列全市第一
指蘇州、無錫、常州三市企業通過研發創新，其品種、規格或技術參數等有重大突破，具有自主知識產權的國內或國際首臺（套）高端裝備和關鍵部件，整機性能或核心技術指標達到國內領先或國際同類裝備先進水平。
該裝備首次采用高精度5次元測試技術和高精度針模導通設計，實現對自動對焦AF和光學防抖OIS的全自動功能測試。此外，該裝備還首次采用了封閉式干擾屏蔽系統、單獨的減震系統、特殊的調試確認機制，保證了測試的穩定性及VCM馬達放置位置的一致性，降低了在測試時VCM馬達的NG率。該技術填補了國內VCM5次元測試領域的空白，整機技術處于國內領先水平。
在產品功能上，該裝備實現了全自動測試、多機并線測試、中轉儲料等功能的突破；在性能指標上，該裝備比舜宇集團的VCM檢測設備在OIS+AF測試重復性精度及電阻測試精度方面提升了10倍，測試針阻抗由100mΩ降低至30mΩ，技術參數實現了重大突破。
該裝備是我國實現國產化替代、面向半導體晶圓級封裝的高精度、雙晶圓智能垂直式電鍍機，在高頻高速電鍍工藝技術、晶圓雙面夾持裝置全自動拆裝技術、電鍍前處理潤濕工藝、晶圓負壓干燥技術和整機結構可靠性設計技術等多項核心關鍵技術方面取得了新突破。
該裝備能滿足半導體無人工廠全自動天車搬運要求，進一步實現產品自動生產、藥液自動分析、藥液自動添加、工藝參數自動選取、數據自動上傳等智能化功能。目前，該設備自動化程度已達半導體晶圓廠要求，且能兼容8寸、12寸產品和多種晶圓傳輸料盤，滿足多場景應用。
下一步，昆山高新區將進一步強化企業技術創新主體地位，支持企業依托科研院所、重點實驗室等開展協同創新，加快自主創新產品研發推廣應用，形成良好的產業創新生態，為發展新質生產力注入強勁動力。
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